1. Niat
2. Berdiam diri di masjid sekurang-kurangnya selama tumaninah shalat
3. Masjid
4. Orang yang beritikaf.
Syarat orang yang beritikaf adalah beragama Islam, berakal sehat, dan bebas dari hadas besar. Artinya, tidak sah itikaf dilakukan oleh orang yang tidak memenuhi syarat tersebut.